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BX3M系列采用了模塊化設(shè)計，為廣泛的材料學(xué)和工業(yè)應(yīng)用提供了多樣化的解決方案。BX3M增強了與Stream軟件的集成性，從而為常規(guī)顯微鏡檢查和數(shù)碼成像用戶提供了從觀察到報告創(chuàng)建的無縫工作流程。

照明器的設(shè)計大程度減少了顯微鏡操作過程中所必須的復(fù)雜操作。 照明器前端的旋鈕使用戶能夠輕松地改變觀察方法。操作者可以在反射光顯微鏡檢查時快速切換*常用的觀察方法，比如從明場觀察到暗場觀察，到偏光觀察，以隨時改變不同類型的分析。此外，可以旋轉(zhuǎn)檢偏鏡來實現(xiàn)簡單偏光觀察的調(diào)節(jié)。

 

操作者能夠在經(jīng)常使用的觀察方法之間快速切換（AlSi的拋光態(tài)樣品）

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直觀的顯微鏡控制：視場光闌和孔徑光闌的簡單設(shè)置

使用正確的孔徑光闌和視場光闌設(shè)置能夠獲得良好的圖像對比度，還可以充分利用物鏡的數(shù)值孔徑。指示標(biāo)志可引導(dǎo)用戶根據(jù)觀察方法和所用物鏡進(jìn)行正確的設(shè)置。

 

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快速找到焦點：對焦刻度標(biāo)尺

機架上的對焦刻度標(biāo)尺可以讓操作者快速鎖定焦點。操作者不用通過目鏡查看樣品就可以大致地對準(zhǔn)焦點，從而在檢查具有不同高度的樣品時節(jié)省了時間。

 

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一致的照明：智能光強管理

在初始設(shè)定時，可以調(diào)節(jié)照明強度，使其與編碼照明器和/或編碼物鏡轉(zhuǎn)換器的特定硬件配置匹配。

 

 

傳統(tǒng)的光強

 

傳統(tǒng)顯微鏡中，提高了放大倍率，以及使用需要更多光線的觀察方法后，圖像會變得更暗。

智能光強管理

 

改變放大倍率或觀察方法時，顯微鏡自動調(diào)節(jié)光強到正確值。

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方便而人性化的操作

人性化設(shè)計對所有用戶都至關(guān)重要。無論是單機顯微鏡用戶，還是集成了Stream圖像分析軟件的顯微鏡系統(tǒng)用戶，都能得益于可以清晰顯示顯微鏡編碼型硬件位置的人性化操作設(shè)計的手動控制器。簡單的手動開關(guān)讓用戶能夠?qū)Ｗ⒂跇悠泛蜋z查工作本身。

 

用于旋轉(zhuǎn)電動物鏡轉(zhuǎn)換器的手動開關(guān)

 

手動控制器

 

曝光按鈕

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專為圖像分析而設(shè)計的系統(tǒng)

可恢復(fù)顯微鏡設(shè)置：編碼硬件

BX3M采用了新的編碼功能，將顯微鏡的硬件設(shè)置與奧林巴斯Stream圖像分析軟件整合在一起。觀察方法、照明強度和物鏡位置全都記錄在軟件和/或手動控制器里。編碼功能可實現(xiàn)顯微鏡設(shè)置與每幅圖像一起自動保存，從而可輕松完成此后的還原設(shè)置，以及為報表提供文檔記錄。既節(jié)省了操作者的時間，又*大程度地減小了使用不正確設(shè)置的概率。當(dāng)前的觀察設(shè)置總是清晰地顯示在手動控制器和軟件上。

操作步驟	操作者A	操作者B
不同的操作者使用不同的設(shè)置
易于驗證正確的設(shè)置
使觀察設(shè)置保持同步
盡管操作者不同，但設(shè)置相同

MIX觀察：讓未見變?yōu)榭梢?/h3>

BX3M的MIX觀察技術(shù)組合了明場和暗場照明方法。MIX照明滑塊中的LED光源，以定向暗場光線照射樣品。這種方式類似于傳統(tǒng)暗場照明，但又可為LED的不同角度光線照射提供四分象限選擇功能。這種定向暗場與明場、熒光、或偏光的組合稱為MIX照明，有助于突出顯示缺陷和區(qū)分隆起與凹陷表面。

傳統(tǒng)的

明場將光線直接照射在樣品上，暗場則使光線沿物鏡的周圍從側(cè)面照射樣品，突出顯示了劃痕和缺陷。

先進(jìn)的

MIX觀察是通過一個環(huán)形LED光源來形成明場、熒光或偏光與定向暗場的組合�？梢哉{(diào)節(jié)LED光源，選擇從哪個方向進(jìn)行照明。該方法可在傳統(tǒng)方法無法觀察的表面上獲得獨有的對比度并可突出表面特征。

 

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即時MIA：輕松移動載物臺即可進(jìn)行全景拍攝

現(xiàn)在不需要電動載物臺，僅僅移動手動載物臺上XY旋鈕即可方便而快捷地拼接圖像。奧林巴斯Stream軟件采用圖案識別技術(shù)來生成全景圖像，為用戶提供了比單一畫面更廣闊的視野。

 

一枚硬幣的即時MIA圖像。

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EFI：創(chuàng)建超景深圖像

Stream軟件的景深擴展成像（EFI）功能能夠獲取高度超過物鏡焦深的樣品圖像，把通過不同焦面的圖像疊加在一起，創(chuàng)建出一幅超景深圖像�？梢允褂檬謩踊螂妱覼軸機構(gòu)來執(zhí)行EFI，并可創(chuàng)建一幅高度圖，以輕松地識別樣品結(jié)構(gòu)。也可以用Stream桌面版在離線時創(chuàng)建EFI圖像。

 

 

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HDR：同時捕捉高光和暗調(diào)區(qū)域的細(xì)節(jié)

高動態(tài)范圍（HDR）使用了先進(jìn)的圖像處理技術(shù)，能夠針對一幅圖像內(nèi)的亮度差異進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而減少了眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺效果，從而為用戶制作報告時提供*完美的圖像。

 

借助HDR功能，同時清晰呈現(xiàn)出高光和暗調(diào)區(qū)域的細(xì)節(jié)
（樣品：燃油噴射器）

 

借助HDR功能，增強了對比度
（樣品：鎂切片）

 

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可調(diào)整滿足觀察和分析的偏好要求

觀察方法的選擇范圍寬廣

反射光顯微鏡應(yīng)用于各行各業(yè)。以下僅為一些通過不同觀察方法獲得的效果示例，如 明場(BF)、 暗場(DF)、微分干涉差(DIC)、偏光(PL)、熒光(FL)、紅外(IR)、和透射光(TL)。

DF(示例: 表面貼裝基板）

DIC(示例:球墨鑄鐵腐蝕檢測）

PL(示例: 絹云母)

FL(示例: 半導(dǎo)體晶圓上的顆粒異物)

IR(示例:電極切片)

TL(示例: LCD彩色濾光片)

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常規(guī)或基礎(chǔ)測量功能

通過Stream軟件可以實現(xiàn)多種測量功能，從而使用戶可以很輕松地從圖像中獲取有用的數(shù)據(jù)。在質(zhì)量控制和檢查時常常需要對圖像進(jìn)行測量。所有級別的Stream 授權(quán)軟件都包括了交互式的測量功能，比如距離、角度、矩形、圓、橢圓和多邊形。所有測量結(jié)果都與圖像文件一起保存，用于今后的文件檢索。

 

 

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計數(shù)和測量

目標(biāo)探測和尺寸分布測量，是數(shù)碼圖像中重要的應(yīng)用。Stream軟件使用閾值分割方法進(jìn)行目標(biāo)探測，能夠可靠地從背景中分離目標(biāo)（比如顆粒、劃痕）。

 

 

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材料解決方案

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3D測量

使用外部電動對焦機構(gòu)時，可以快速獲取EFI圖像，并以3D視圖顯示。獲取的高度數(shù)據(jù)可用于剖面上的3D測量，或通過單視圖進(jìn)行3D測量。

 

3D表面視圖（粗糙度試驗樣品）

 

單視圖和3D剖面測量

 

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容納各類樣品

可以容納更多的樣品類型和尺寸

新型150×100mm載物臺在X方向上提供了比以前的型號更大的行程。再加上其載物臺板的平板式設(shè)計，可以輕松地將大樣品，或多個樣品放置在載物臺上。載物臺板上開有小孔，可用于固定樣品架。更大的載物臺為用戶提供了靈活性，使他們能夠在一臺顯微鏡上檢查更多的樣品，從而節(jié)省了寶貴的實驗室空間。可調(diào)節(jié)扭力的載物臺方便了高倍下窄視野的微調(diào)定位。

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樣品高度和重量的高適應(yīng)性

 

 BX53MRF-S

使用選配的模塊組件可以將高105mm的樣品放置在載物臺 上。由于改進(jìn)了調(diào)焦機構(gòu)，因此顯微鏡可以容納*重6kg的總重量（樣品+載物臺）。這就意味著BX3M可以檢查更大、更重的樣品，從而減少了實驗室內(nèi)所需的顯微鏡數(shù)量。通過戰(zhàn)略性地將用于6英寸晶圓的旋轉(zhuǎn)托架放置在偏離中心的位置，在100mm行程范圍內(nèi)移動時，用戶僅旋轉(zhuǎn)晶圓托架即可觀察整個晶圓表面。優(yōu)化了載物臺的扭力調(diào)節(jié)，以便于使用，舒適的手柄使用戶更易于找到樣品的感興趣區(qū)域。

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樣品尺寸大小的靈活性

 

BXFM

如果樣品太大，難以放置在常規(guī)顯微鏡載物臺上，則可以把用于反射光顯微鏡觀察的核心光學(xué)部件組裝到一個模塊化的系統(tǒng)里。這種模塊化系統(tǒng)，就是BXFM，它可以通過一個支撐桿安裝在更大的支架上，或使用安裝托架安裝在另一臺儀器上。這就使用戶能夠充分利用優(yōu)異的光學(xué)元件的優(yōu)勢，即使其樣品在尺寸或形狀上都很獨特。

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兼容ESD：保護(hù)電子裝置，防止受到靜電放電的影響

BX3M具有ESD靜電消除能力，防止電子裝置受到由人為或環(huán)境因素而導(dǎo)致的靜電的影響。
 

入門		標(biāo)準(zhǔn)		高級
光學(xué)系統(tǒng)			UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠(yuǎn)校正系統(tǒng))
主機	顯微鏡鏡架		BX53MRF-S （反射）	BX53MTRF-S （反射/透射）	BX53MRF-S （反射）	BX53MTRF-S （反射/透射）	BX53MRF-S （反射）	BX53MTRF-S （反射/透射）
	聚焦		行程：25毫米 每轉(zhuǎn)行程微調(diào)：100 μm *小分度：1 μm 帶有用于粗調(diào)的上限限位器和扭矩調(diào)節(jié)
	*高標(biāo)本高度		反射：65毫米（無墊片），105毫米（帶BX3M-ARMAD） 反射/透射：35毫米（不帶墊片），75毫米（帶BX3M-ARMAD）
	觀察筒	寬視場(F.N.22)	U-TR30-2-2 倒像：三目鏡筒
	照明	反射光 透射光	BX3M-KMA-S 白光LED，BF / DIC / POL / MIX FS，AS（帶定心機構(gòu)），BF / DF互鎖		BX3M-RLAS-S 編碼，白光LED，BF / DF / DIC / POL / MIX FS，AS（帶定心機構(gòu)），BF / DF互鎖
			－	BX3M-LEDT 白光LED 阿貝/長工作距離聚光鏡	－	BX3M-LEDT 白光LED 阿貝/長工作距離聚光鏡	－	BX3M-LEDT 白光LED 阿貝/長工作距離聚光鏡
	物鏡轉(zhuǎn)換器		U-5RE-2 用于明場（BF）：五孔		U-D6BDRE 用于明場/暗場（BF/DF）：六孔			U-D6BDRES-S 用于明場/暗場（BF/DF）：六孔，編碼型
	目鏡（F.N.22)		WHN10 WHN10X-H
	MIX觀察		－					BX3M-CB 控制箱 BX3M-HS 手動開關(guān) U-MIXR 用于反射光觀察的MIX插片 U-MIXRCBL U-MIXR電纜
	聚光鏡（長工作距離）		－	U-LWCD	－	U-LWCD	－	U-LWCD
	電源線		UYCP (x1)					UYCP (x2)
	重量		反射：約15.8公斤（顯微鏡鏡架7.4公斤） 反射/透射：約18.3公斤（鏡架7.6公斤）
物鏡	MPLFLN套裝		MPLFLN5X, 10X, 20X, 50X, 100X BF/POL/FL觀察		－
	MPLFLN BD 套裝		－		MPLFLN5XBD, 10XBD, BD, 50XBD, 100XBD BF / DF / DIC / POL / FL觀察
	MPLFLN-BD, LMPLFLN-BD 套裝		－		MPLFLN5XBD, 10XBD, LMPLFLN20XBD, 50XBD, 100XBD BF / DF / DIC / POL / FL觀察
載物臺 (X × Y)	76毫米x 52毫米 組件		U-SVRM, U-MSSP 同軸右手柄載物臺/ 76（X）×52（Y）毫米，帶扭矩調(diào)節(jié)
	100毫米 x 100毫米 組件		U-SIC4R2, U-MSSP4 大尺寸同軸右手柄載物臺/ 100（X）x 100（Y）毫米，Y軸配有鎖定機構(gòu)
	100毫米x 100（G）毫米組件		U-SIC4R2, U-MSSPG 大尺寸同軸右手柄載物臺/ 100（X）x 100（Y）毫米，Y軸配有鎖定機構(gòu)（玻璃板）
	150毫米x 100毫米組件		U-SIC64, U-SHG, U-SP64 大尺寸同軸右手柄載物臺/ 150（X）x 100（Y）毫米，帶扭矩調(diào)節(jié)，Y軸配有鎖定機構(gòu)
	150毫米x 100（G）毫米組件		U-SIC64, U-SHG, U-SPG64 大尺寸同軸右手柄載物臺/ 150（X）x 100（Y）毫米，帶扭矩調(diào)節(jié)，Y軸配有鎖定機構(gòu)（玻璃板）
選配	MIX觀察組件*		BX3M-CB, BX3M-HS, U-MIXR, U-MIXRCBL				－
	DIC*		U-DICR
	中間鏡筒		U-CA, U-EPA2, U-TRU
	濾光片		U-25ND6, U-25ND25, U-25LBD, U-25LBA, U-25Y48, U-AN360-3, U-AN360P, U-PO3, U-POTP3, U-25IF550, U-25L42, U-25, U-25FR
	聚光鏡用濾光片		43IF550-W45, U-POT
	載物臺板		U-D6BDRES-S, U-D6RE-ESD-2, U-D6BDRES-ESD, U-5RES-ESD
	試樣托架		U-HRD-4, U-HLD-4, U-HRDT-4, U-HLDT-4
	手柄橡膠		U-SHG, U-SHGT

_{*不能與U-5RE-2一起使用。}

BX53M / BXFM ESD單元

項目	顯微鏡鏡架	BX53MRF-S, BX53MTRF-S
	照明器	BX3M-KMA-S, BX3M-RLA-S, BX3M-URAS-S, BX3M-RLAS-S
	物鏡轉(zhuǎn)換器	U-D6BDREMC, U-D6BDRES-S, U-D6RE-ESD, U-D5BDREMC-ESD, U-5RES-ESD
	載物臺	U-SIC4R2, U-MSSP4